超精密三維表面形貌測量平臺

現代高端機械制造對幾何尺寸測量精度的要求越來越高,特別是對不加任何預處理的深色、透明、反光的材質的超精密三維非接觸掃描測量一直是一個難以逾越的難題。FS系列超精密三維表面形貌測量平臺就是應這個要求而開發的,其顯著特征包括:

幾乎可對任何特性的表面進行超精密3D測量

  • 可完成黑色、透明、反光等表面的非接觸三維掃描測量
  • ±42.5°大角度測量能力,獲取更多極限和邊緣處數據
  • 測量范圍小至集成電路,大至手機屏

納米級分辨率與測量精度

  • 垂直分辨率達17
  • 水平分辨率可達1
  • 測頭精度達14nm

測量效率高、穩定性好

  • 僅需三步設置即可一鍵開始測量,節約時間精力
  • 最高20mm/s掃描速度,通常數分鐘之內即可完成測量
  • 級大理石隔振設計,隔離1Hz以上環境振動影響
  • XY軸提供 分辨率光柵尺反饋,數據可重復性高

主流微觀幾何測量功能

  • 點、線、面三種測量模式,應對從簡單到復雜的測量任務
  • 2D輪廓測量,包含長寬高、角度和臺階高度等十余項
  • 3D形貌測量,包含體積、表面積、翹曲度和腐蝕分析等
  • 符合國際ISO25178標準的面粗糙度測量分析

軟件功能強大、開放接口

  • 一鍵初始化,動態顯示測量數據、測量進程和設備狀態
  • 采樣頻率、點間距、掃描范圍等參數均可調
  • 提供第三方開發接口,方便用戶進行二次開發

操作簡單易維護

  • 出廠前已完成精度校準,無需在日常使用中進行校準操作
  • 無需對樣品傾斜校正,存在較小傾斜角度仍能正常測量
  • 受環境振動、光線、溫 度等因素影響小
  • 完備的軟硬件培訓和技術支持服務,及時解決用戶問題

說明:實物外觀圖片僅供參考

技術參數

基本參數 FS-Compact FS-100 FS-Premium
測量速度
20mm/s
測量點間距
1-100μm
載物臺尺寸 150x150mm 200x200mm 400x400mm
Z軸升降 手動 自動 自動
垂直方向行程
100mm
水平方向行程 100x100mm 120x120mm 250x250mm
水平方向定位精度
1μm/100mm
Z定點測量范圍
1400μm,100-42000μm可選配
Z軸橫向分辨率
最高1μm
Z軸軸向分辨率 17nm (1.7nm可選) 17nm (1.7nm可選) 20nm
Z軸測量精度
150nm (14nm可選)
采樣頻率
100-2000Hz
設備長寬高 400x550x600mm 700x1080x1300mm 2200x1800x2100mm
承重 5kg 10kg 20kg
電源
100~240VAC, 0.8A, 50-60Hz

主要功能

2D輪廓和臺階高度:

  • 長寬高、深度、角度、弧度
  • 間隙和斷差、臺階高
  • 平整度

3D輪廓和表面形貌:

  • 三維超精細視圖
  • 體積計算
  • 表面積計算
  • 翹曲度測量

ISO25178標準表面粗糙度:

  • 面粗糙度
  • 線粗糙度
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